1. 1. 机电系统  -  https://wenku.baidu.com/view/49fe956251d380eb6294dd88d0d233d4b04e3f54.html

    机电系统,是指通过机械和电气的相互作用,完成一定任务的系统。
    是由机械系统、电气系统、控制系统等多个子系统组成的一个整体。
    主要由传感器、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
  2. 2. 微机电系统,微电子机械系统MEMS、微系统、微机械  -  https://baike.baidu.com/item/微机电系统

    微机电系统MEMS, Micro-Electro-Mechanical System,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
  3. 3. 电子机械系统  - 

    电子机械系统

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