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1.
机电系统 -
https://wenku.baidu.com/view/49fe956251d380eb6294dd88d0d233d4b04e3f54.html
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机电系统，是指通过机械和电气的相互作用，完成一定任务的系统。
是由机械系统、电气系统、控制系统等多个子系统组成的一个整体。
主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。
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2.
微机电系统，微电子机械系统MEMS、微系统、微机械 -
https://baike.baidu.com/item/微机电系统
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微机电系统MEMS, Micro-Electro-Mechanical System，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
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3.
电子机械系统 -
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电子机械系统
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