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1.
光刻机 -
https://baike.baidu.com/item/光刻机
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光刻机Mask Aligner，又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。
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2.
曝光系统 -
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3.
光刻系统 -
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4.
掩模对准曝光机 -
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5.
曝光机 -
https://baike.baidu.com/item/曝光机
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光刻机，又称曝光机Mask Aligner，Exposure machine
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6.
UV光刻机 -
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UV光刻机
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7.
双面对准光刻机 -
https://baike.baidu.com/item/双面对准光刻机
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双面对准光刻机
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