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1.
涂覆 -
http://baike.baidu.com/view/1207395.htm
涂覆coating,是在基片表面盖上一层材料,如用浸渍、喷涂或旋涂等方法在基片表面覆盖一层光致抗蚀剂。
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2.
旋涂 -
旋涂,旋转涂抹法的简称,电子工业中,基片垂直于自身表面的轴旋转,同时把液态涂覆材料涂覆在基片上的工艺。
是有机发光二极管中常用的制备方法,主要有设备为匀胶机,旋涂法包括:配料,高速旋转,挥发成膜三个步骤,通过控制匀胶的时间,转速,滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。
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