-
1.
热扩散 -
![]()
热扩散heat diffusion，以温度差为推动力的扩散称为热扩散。
-
2.
热扩散技术 -
http://baike.baidu.com/view/2801717.htm
![]()
热扩散技术，又称为高温扩散技术。
杂质原子热扩散的机理：主要有替位式扩散和间隙式扩散两种。
-
3.
替位式扩散 -
![]()
占据晶格位置的外来原子称为替位式杂质。
替位式杂质从一个晶格位置到另一个晶格位置称为替位式扩散。
-
4.
间隙式扩散 -
![]()
间隙式扩散，填隙式扩散。
存在于晶格间隙的杂质称为间隙式杂质。间隙式杂质从一个间隙位置到另一个间隙位置的运动称为间隙式扩散。
主要是那些半径较小、且不容易和硅原子键合的原子。
第一页
上一页 第 1 / 1 页
下一页
最后一页 共 4 条