21. 设备研究  - 

22. 设备开发  - 

23. 设备研发  - 

24. 装备研发  - 

25. 工具研制  - 

26. 工具研究  - 

27. 研究制造  - 

28. 研制设备  - 

29. 装备研制配套  - 

30. 装备研制  -